84869022

Của máy kết tủa epitaxi dùng cho các tấm bán dẫn mỏng; của thiết bị để tạo lớp phủ nhũ tương cảm quang in ảnh lên các tấm bán dẫn mỏng bằng phương pháp quay

84869023

Của máy cấy ghép ion cho quá trình xử lý vật liệu bán dẫn; của thiết bị tạo kết tủa vật lý bằng phương pháp phun phủ lên tấm bán dẫn; của thiết bị để lắng đọng vật lý; của thiết bị ghi trực tiếp lên tấm bán dẫn mỏng, thiết bị hiệu chỉnh vị trí mẫu theo bước và lặp lại và thiết bị in ly tô khác

84869024

Của dụng cụ phun dùng để khắc axit, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bán dẫn mỏng; của thiết bị để khắc axít ướt, hiện ảnh, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bản dẫn mỏng; của các bản mẫu khắc khô trên vật liệu bán dẫn: Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận liên kết đặc biệt khác dùng cho máy công cụ

84869025

Loại khác

84869026

Của máy khắc để đánh dấu hoặc khắc vạch lên các tấm bán dẫn mỏng; của máy cắt laser để cắt các đường tiếp xúc bằng các chùm tia laser trong các sản phẩm bán dẫn; của máy uốn, gấp và làm thẳng các đầu chân dẫn điện của bán dẫn: Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận liên kết đặc biệt khác dùng cho máy công cụ

84869027

Loại khác

84869028

Của lò sấy và lò luyện dùng điện trở sử dụng trong sản xuất linh kiện bán dẫn trên tấm bán dẫn mỏng; của lò sấy và lò luyện hoạt động bằng hiệu ứng cảm ứng điện hoặc điện môi dùng trong sản xuất linh kiện bán dẫn trên tấm bán dẫn mỏng

84869029

Loại khác

84869031

Của máy và thiết bị sản xuất tấm màn hình dẹt:'Của thiết bị để khắc axít bằng phương pháp khô lên các lớp đế của tấm màn hình dẹt

84869032

Của thiết bị khắc axít bằng phương pháp ướt, máy điện ảnh, thiết bị tẩy rửa hoặc làm sạch tấm màn hình dẹt:Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận liên kết đặc biệt khác dùng cho máy công cụ

84869033

Loại khác

84869034

Của thiết bị kết tủa và bay hơi dùng để sản xuất tấm màn hình dẹt