84864070

Thiết bị tạo mẫu dùng cho quá trình tạo màn (khuôn in) hoặc lưới quang trên các đế phủ lớp chịu axít trong quá trình khắc

84864090

Loại khác

848690

Bộ phận và linh kiện:

84869011

Của máy móc và thiết bị để sản xuất khối hoặc tấm bán dẫn mỏng:Của thiết bị nung nóng nhanh tấm bán dẫn mỏng

84869012

Của thiết bị sấy khô bằng phương pháp quay dùng cho quá trình gia công tấm bản mỏng

84869013

Của máy công cụ để gia công mọi vật liệu bằng cách bóc tách vật liệu, bằng quy trình sử dụng tia laser hoặc tia sáng khác hoặc chùm phô-tông trong sản xuất tấm bán dẫn mỏng

84869014

Của máy dùng để cắt khối bán dẫn đơn tinh thể thành các lớp, hoặc cưa miếng mỏng đơn tinh thể thành các chip:Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận phụ trợ đặc biệt khác dùng cho máy công cụ

84869015

Loại khác

84869016

Của máy mài, đánh bóng và mài rà dùng cho quá trình sản xuất tấm bán dẫn mỏng

84869017

Của thiết bị làm phát triển hoặc kéo dài khối bán dẫn đơn tinh thể

84869019

Loại khác

84869021

Của máy và thiết bị sản xuất linh kiện bán dẫn hoặc mạch điện tử tích hợp:Của thiết bị kết tủa và bay hơi dùng cho sản xuất bán dẫn