84861060

Thiết bị làm phát triển hoặc kéo khối bán dẫn đơn tinh thể

84861090

Loại khác

848620

Máy và thiết bị để sản xuất linh kiện bán dẫn hoặc mạch điện tử tích hợp:

84862011

Thiết bị tạo lớp màng mỏng:Thiết bị kết tủa khí hoá dùng cho ngành sản xuất bán dẫn

84862012

Máy kết tủa epitaxi dùng cho các tấm bán dẫn mỏng; thiết bị để tạo lớp phủ nhũ tương in ảnh lên các tấm bán dẫn mỏng bằng phương pháp quay

84862013

Thiết bị tạo kết tủa vật lý bằng phương pháp phun phủ lên các tấm bán dẫn mỏng; thiết bị lắng đọng vật lý dùng cho sản xuất bán dẫn

84862019

Loại khác

84862021

Thiết bị tạo hợp kim hóa:Máy cấy ghép ion cho quá trình xử lý vật liệu bán dẫn

84862029

Loại khác

84862031

Thiết bị tẩy rửa và khắc axít:Máy dùng tia sáng để làm sạch và tẩy rửa chất bẩn bám trên các đầu chân dẫn điện kim loại của các cụm linh kiện bán dẫn trước khi tiến hành điện phân; dụng cụ phun dùng để khắc axit, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bán dẫn mỏng

84862032

Thiết bị sử dụng cho các bản mẫu khắc khô trên vật liệu bán dẫn

84862033

Thiết bị để khắc axit ướt, hiện ảnh, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bán dẫn mỏng